投影式光刻机,最重要的就是掩膜版的制作,掩膜版制作完成,工作就算是完成了大半。
不过由于多层次立体晶体管架构的特殊性,掩膜版并不止一块,而是多块多层次,分别进行曝光,才能完成。
多块掩膜版的切换,自然也不是原本的光刻机能够做到的,为此杨青对光刻机的光学系统,还有工作台,做了大改,以适应这些特别的加工需求。
也幸亏杨青是生活在华国这个加工业的大国,大部分的零部件,哪怕是需要进口的高精度伺服电机,也能在短时间内到货,让杨青的改进工作顺利了许多。
仅仅光刻机的改进工作,就持续了一个月的时间,从还有些暖意的晚秋,一直持续到冰冷的寒冬,才算是彻底结束。
杨青学的是计算机,但是光刻机作为人类工业文明的最高结晶,汇集了机械,电子,光学还有软件方面的大量成果,尽管眼前他所使用的是DUV,而不是阿斯麦的最新成果EUV,可是想要对它进行改进,同样不仅需要跨越各行业,各门类的知识水平,还需要同样强悍的动手能力。
不说知识结构,仅仅从动手能力上来说,杨青对于身体的掌控已经到了极点,大概就是脑子怎么想的,手上就能给你实现出来,力气又大,一块钢板,他拿手掰几下,就能掰出想要的形状来。
但是这里面论起动手能力,杨青绝对不是最强的,从白一到白十,这几个机器人,动手能力甚至比杨青还要强。
当然,与其说是这几个机器人厉害,还不如说是它们背后的小嫒厉害。
这时候,杨青费尽心机研究的人造肌肉,就有了价值,因为人造肌肉的特点就是受到电流的刺激产生收缩。
而芯片对于电流的控制能力,显然远大于对伺服电机运动的控制,因为只要伺服电机转起来,就会有惯性,反应到现实中,就是机器人最终的动作会有些许的变形。
这一些变形对于普通人类来说自然是看不出来的,但是在高精度的加工工作中,就成了瑕疵。
所以小嫒的厉害也是依托于白一它们这些机器人的能力上,才表现出来的。
这就跟白灵白珊它们不同,尽管白灵白珊它们在小嫒的控制下,也能够胜任一些普通人都能做的工作,但是想利用它们完成光刻机的改进,就是天方夜谭了。
期间完成的还有银互联的银离子镀层技术,就跟铜互联的方式相差无几,只不过进行化学气相沉积时候,药剂有了不同,需要进行替换,可以说这是最容易替换的技术了。
当杨青终于站在完工后的光刻机前面,也不禁有种松了一口气的感觉。
改进后的光刻机,体积足足扩大了一倍还多,这样的庞然大物,偏偏要用磨绣花针的手法去修配安装,始终让人轻松不起来。
杨青费这么大的力气改造光刻机,自然不是仅仅为了生产这一种九十纳米制程的芯片,实际上要不是杨青他们设计的芯片,已经定型在了九十纳米上面,现在的光刻机的制程,立刻就能达到二十八纳米的程度。